ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target
ITO靶材以磁控濺射等方式用于導電玻璃的制備。 ITO鍍膜具有導電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性，其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產品，尤以顯示屏為大宗。
聯系我們ITO旋轉靶材 & ITO平面靶材
恒博通過獨立自主的研發，在與上下游廠商合作中,為ITO靶材國產化進程做出了應有的責任。
ITO 旋轉靶材
恒博具備燒結成型1000mm長度旋轉靶材能力，這項技術的突破，使得恒博在市場競爭中具備良好的相對優勢。
ITO 平面靶材
恒博雙拼平面靶材(1325mm長)能夠滿足客戶以及市場需求的大尺寸、高密度、高焊合率特性。
獨立原材料生產線
擁有一條完整的獨立ITO原材料粉體制備生產線可以使恒博嚴格控制原材料產品質量。經過二次開發的全新粉體制備方法使恒博的ITO原材料粉體具有高純度以及高均勻性的特質。
純度 ≥99.99%
一套完整的質量檢測體系是保障產品質量及穩定性的重要環節。恒博在此項的投入完全按照行業檢測標準而購進檢測設備。獨立的檢測管理體系使得恒博可以及時發現產品問題并解決，這不僅保障了客戶的權益，同樣大大加快了生產周期。
IGZO靶材、AZO靶材、氧化鋁靶材、氧化鋯靶材
恒博已成功研發出下一代ITO優化替代產品以及產業鏈相關配套靶材，并同時在更多靶材領域投入研發。
獨立檢測體系
ITO的成品質檢需經過7項檢測。分別為產品批號、產品外觀、產品尺寸、強度寬度、純度以及電導率。檢驗設備將會涉及密度測量天平、等離子體質譜儀、全譜直讀等離子體發射光譜儀、X射線衍射儀、掃描電鏡等。
二十五年積累的大規模生產高純氧化物材料的技術及管理經驗
- ITO靶材參數
- 供貨標準
ITO靶材以磁控濺射等方式用于導電玻璃的制備。ITO鍍膜具有導電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性。其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產品，尤以顯示屏為大宗。
恒博公司已建成2條涵蓋粉體生產、成型、燒結、加工、Bonding及廢靶回收的完整ITO靶材生產線，并成功研發出單塊長度可達1325mm的ITO雙拼平面靶材，該產品已通過國內知名廠商的實際上機測試。
恒博公司ITO靶材已通過G8.5、G8.6、G10.5認證并成為國內知名TFT面板廠商供應商。平面靶材和旋轉靶材產能均為15噸/月。
我們可以根據您的特殊需求，定制不同的靶材尺寸產品。
| 性能 Properties |
單位 unit |
標準值 Standard Value |
| 類型 Types |
wt% | In2O3:SnO2=90:10 In2O3:SnO2=93:7 In2O3:SnO2=95:5 In2O3:SnO2=97:3 In2O3:SnO2=98:2 In2O3:SnO2=99:1 |
| 單塊平面靶最大規格 Max Size of single Plane ITO |
mm | 1325x400x(6.2-12) |
| 單塊旋轉靶最大規格 Max Size of single Plane ITO |
mm | Φ135XΦ153~159X1000 |
| 相對密度 Relative Density |
/ | ≥99.8% |
| 體積電阻率 Volume Resistivity |
Ω·cm | 1.35x10-4 |
| 抗彎強度 Bending Strength |
Mpa | ≥150 |
| 純度 Purity |
/ | ≥99.99% |
| 失氧率 Oxygen Loss Rate |
/ | ≤0.5% |
| 雜質元素 Impurity contents |
含量 (ppm) |
| Si | ＜10 |
| Fe | ＜10 |
| Ca | ＜10 |
| Na | ＜10 |
| Cu | ＜10 |
| Cr | ＜5 |
| Ni | ＜10 |
| 供貨標準表 | ||
| 標準 | 平面ITO靶材 | 旋轉ITO靶材 |
| 密度 | ≥7.142 | ≥7.142 |
| 純度 | ≥99.99% | ≥99.99% |
| 功率密度 | ≥6W/cm2 | ≥5.4W/cm2 |
| 焊合率 | ≥98% | ≥98% |
| 尺寸 | 按圖紙標準 | |
冀公網安備13043502000131號